真空步進電機采用全新的設計，選用適合的材料，通過新的生產工藝完成對特殊電機的制造、檢驗。溫度最低達-196℃，最高達+300℃，真空度優于10-7Pa。標準設計28、42、57、86框號兩相四線制混合式步進電機，還可依需要定制其他規格馬達，或定制耐輻射、抗霉菌、耐沖擊、出軸形式等特殊需求。

德國Phytron真空電機（VSS / VSH）是空間技術30多年經驗的成熟結果。兩相混合式步進電機的特殊設計專為高達10-11hPa的真空應用而設計。適用于特殊環境條件，如低溫和高溫或極端輻射強度。

GP真空減速機可配合本公司所列步進電機和伺服電機使用，標準化設計制造40、60、80三種規格，可定制其他規格，工作溫度-196℃至+200℃，使用真空度10-7Pa，平均使用壽命連續運轉5000小時。

真空模組，可以在10^-7Pa的真空環境下運行，耐溫達200℃，真空模組的設計首要考慮機構和材料。此系列產品大部分組件采用不銹鋼加工或熱膨脹系數相當的并且出氣率底的材料。此系列產品主要應用于真空室，高溫室，高潔凈度環境。